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関連施設・主要施設

関連施設

VDEC設計室
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VLSI評価室
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VLSI評価室 クリーンルーム
VLSI評価室 クリーンルーム

無響室
無響室

   

核融合周辺プラズマ実験装置
核融合周辺プラズマ実験装置
Heliotron-DR

  • サステナブルエネルギー研究センター
  • バイオAFM先端研究センター
  • 環日本海域環境研究センター
  • 総合メディア基盤センター
  • 音響測定室(無響室・防音室)
  • 電磁波測定室(電波暗室・電磁波シールド室)
  • VDEC設計室
  • VLSI評価室(クリーンルーム・イエロールーム)

主な研究設備

  • 核融合周辺プラズマ実験装置 Heliotron-DR
  • 原子間力顕微鏡(AFM)
  • 振動試料型磁力計(VSM)(玉川製作所 TM-VAM1014-CRO)
  • 半導体パラメータアナライザ
  • 電子ビーム描画装置
  • 収束イオンビーム装置
  • LSI設計システム
  • LSI評価システム

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